понедельник, 14 мая 2012 г.

Новости Компьюлента: Новые гибридные полимерные плёнки гарантируют дальнейшую эволюцию литографического процесса

Новости Компьюлента
Новости Компьюлента
Новые гибридные полимерные плёнки гарантируют дальнейшую эволюцию литографического процесса
May 14th 2012, 07:10

Французский Национальный научно-исследовательский центр (CNRS), занимающийся поиском функциональных макромолекул природного происхождения в качестве альтернатив полимерам химического производства, представил новую комбинацию полимеров на основе полисахаридов и традиционных полимеров, сделав возможным создание ультратонкой плёнки, которая способна к самоорганизации с невиданным разрешением.

Литография при помощи самосборки: а) осаждение тонкой плёнки и самоорганизация; б) создание рисунка зондом туннельного микроскопа; в) осаждение палладиевого катализатора; г) осаждение никеля на палладий.
Литография при помощи самосборки: а) осаждение тонкой плёнки и самоорганизация; б) создание рисунка зондом туннельного микроскопа; в) осаждение палладиевого катализатора; г) осаждение никеля на палладий.

Получение новой комбинации полимеров на основе полисахаридов и традиционных полимеров позволяет говорить об ультратонкой полимерной плёнке, способной к самоорганизации с разрешением 5 нм (при её использовании в качестве литографического трафарета минимально возможный размер элемента интегральной схемы достигает именно этого значения). Это открывает новые горизонты для увеличения ёмкости жестких дисков и скорости микропроцессоров. Подробнее с результатами исследования можно ознакомиться в журнале ACS Nano. Новый класс тонких плёнок на основе гибридных сополимеров мог бы найти разнообразное применение в гибкой электронике — в таких областях, как нанолитография, биосенсоры и фотогальванические ячейки.

Для справки. Ультратонкие плёнки, образующиеся на кремнии по механизму самосборки, имеют очень низкую плотность дефектов и механически прочны. Именно поэтому их принято использовать в качестве трафарета в литографии. Самосборка и закрепление полимерной плёнки на кремниевой подложке происходят за счёт специальных функциональных групп, входящих в состав полимеров. Различают три вида таких групп: 1) прикрепляющаяся к поверхности кремниевой подложки функциональная группа силаны, крепко привязывающая всю плёночную конструкцию; 2) промежуточная функциональная группа фенил, обладающая некоторой внутренней проводимостью и отвечающая за взаимодействие с обрабатывающим оборудованием; 3) поверхностная группа, в которую входят самые разные химически активные функционалы — к примеру, амины. Зачастую создавать новые самосборки с уникальным разрешением можно, просто смешивая различные функциональные группы. Что-то подобное (но, конечно, далеко не только это) делает каждый процессоростроитель, переходя от текущего к более «тонкому» техпроцессу.

До тех пор пока никто не предложит абсолютно новый тип процессора, любая эволюция в литографии (технике, используемой для печати электронных схем) принимается с большим воодушевлением. До сего дня тонкие плёнки, применяемые в литографическом процессе в качестве материала для трафарета, создавались из синтетических полимеров, полученных из нефтяного сырья. Однако работа с ними накладывает определённые ограничения на весь литографический процесс: так, минимальное практическое структурное разрешение составляет 15–20 нм. Теоретическим же минимумом всегда является размер одной молекулы, участвующей в самосборке.

Белые пятна на микрофотографии — цилиндры полисахарида в матрице кремнийсодержащего полистирена (иллюстрация ACS Nano).
Белые пятна на микрофотографии — цилиндры полисахарида в матрице кремнийсодержащего полистирена (иллюстрация ACS Nano).

Почему вообще возникает такой обидный предел? Учёные считают, что из-за недостаточной несовместимости между блоками сополимеров, полученных из нефтяного сырья. Поэтому французские исследователи взялись создать гибридный материал, объединяющий в себе как «нефтяные» полимеры (кремнийсодержащий полистирен), так и макромолекулы на основе природных сахаров. Одним из примеров гибридного сополимера, сформированного сильно несовместимыми элементарными строительными блоками, можно назвать пузырёк масла, прикреплённый к небольшому пузырьку воды. Исследователи показали, что такой тип структуры способен к самоорганизации в цилиндры из полисахарида внутри полимерной кристаллической структуры, образованной традиционным полимером, причём размер каждой такой структуры равен 5 нм.

Достижение 5-нанометрового структурного разрешения позволяет нам вообразить многочисленные потенциальные примеры использования такого гибридного материала в гибкой электронике: это, конечно же, миниатюризация литографических элементов (а отсюда и шестикратное увеличение объёма информации, которую можно поместить на флешку), а также увеличение эффективности солнечных батарей, создание биосенсеров и т. д.

Подготовлено по материалам CNRS.

Tweet
Please enable JavaScript to view the comments powered by Disqus. blog comments powered by Disqus

Источник: feedproxy.google.com, получено с помощью rss-farm.ru

You are receiving this email because you subscribed to this feed at blogtrottr.com.

If you no longer wish to receive these emails, you can unsubscribe from this feed, or manage all your subscriptions

Комментариев нет:

Отправить комментарий